半導体用ジャケットヒーター

半導体用ジャケットヒーターについて

半導体用ジャケットヒーター
  • ・ ヒーター線にセラミックフェルト、セラミック繊維編組による二重絶縁構造電線を採用し、安全性が高く長寿命です。
  • ・ フッ素樹脂シートを外装材に採用し、パーティクルが発生しにくい構造です。
  • ・ ヒーター線の配線幅を5mmピッチまで狭めることで、均一加熱が可能です。
  • ・ ラバーヒーターと比較して、放射が少なく省エネルギーです。
  • ・ 空焼きした製品を出荷するため、装着後のガス発生が殆どありません。
ニチビアルフ®について

特徴

・ インライン、排気および付随配管(TEOS、ジクロルシラン、BCI3、ナイトライド)

・ CVD装置本体の保温

・ プラズマエッチング装置

二重絶縁構造ヒーター線の構造

二重絶縁構造ヒーター線の構造

ジャケットヒーターの構造

ジャケットヒーターの構造
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