断熱リング

断熱リングについて

断熱リング

断熱リングは低不純物仕様に向かっています

  • ・ 断熱リングは半導体製造工程で使用される拡散炉、CVD装置などの高温断熱材として開発された製品です。
  • ・ 断熱リングは炉内に装填する石英チューブおよび炭化ケイ素チューブの形状に合わせ、加工することが出来ます。
  • ・ 従来使用している石英ウールやシリカ製断熱材と比較して耐熱性が高く、石英チューブと反応しにくい性質があります。

    また、断熱材としては従来品と比較して寿命が長くなるため、その結果断熱材の交換頻度および廃棄物を低減させることが可能となります。

断熱リングに対して不純物濃度を減少させたグレードの要求が高まり、外被材、内部充填材および縫糸に低不純物材料を使用した製品を開発し、従来品グレードと平行してお客様のご要望に応じて選択して頂くことが可能です。

ニチビアルフ®について

特徴

アルミナ繊維を使用し、長寿命です。

シール性に優れ、石英チューブと接着しにくくなっています。

使用する材料は金属汚染を防止させるため、不純物濃度を減少させたグレードを用いて構成しています。

断熱リングの耐熱性は1250℃で、従来のシリカ繊維使用断熱リングに比べ、長時間の使用に対応可能です。

従来石英の綿を充填していた箇所については、パーティクルの発生を防止させるため、短冊状の充填材を提案しています。

断熱リングは装填後の発煙トラブルを防止するため、全て焼成した製品を提供します。

※断熱リングは、お客様の図面に基づいて製造致します。従って標準品はありません。
  外被材、内部充填材材質および密度の指定についてもご相談に応じます。
 ・ 全ての断熱リングは焼成したものを出荷致します。
 ・ 複雑な形状については詳細な図面を提出願います。

断熱リング材料構成

  低不純物タイプ 通常タイプ
外被材 ニチビアルミナクロスHG-3025-T ニチビアルミナクロス3025-T
内部断熱材 HPブランケット
HPボード
HPボード硬化品
イソウールブランケット
イソウールボード
イソウールボード硬化品
縫 糸 ニチビアルミナ縫糸HG-T-5760D ニチビアルミナ縫糸T-5760D
しばり紐 ニチビアルミナスリーブHG-SV-4 ニチビアルミナスリーブSV-4
お問い合わせはこちら 産業素材部 アルミナ長繊維課